Grain Growth Control by Atmospheric Pressure Micro-Thermal-Plasma-Jet Irradiation on Amorphous Silicon Strips and Its Application to High-Speed CMOS Circuit Fabrication
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| タイトル ( eng ) |
Grain Growth Control by Atmospheric Pressure Micro-Thermal-Plasma-Jet Irradiation on Amorphous Silicon Strips and Its Application to High-Speed CMOS Circuit Fabrication
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| タイトル ( jpn ) |
アモルファスシリコン細線への大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射による結晶成長制御とその高速CMOS回路作製への応用
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| 作成者 |
森﨑 誠司
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| NDC分類 |
電気工学 [ 540 ]
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| 言語 |
英語
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| 資源タイプ | 博士論文 |
| 出版タイプ | Not Applicable (or Unknown)（適用外。または不明） |
| アクセス権 | オープンアクセス |
| 学位授与番号 | 甲第6825号 |
| 学位名 | |
| 学位授与年月日 | 2015-10-16 |
| 学位授与機関 |
広島大学
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