MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究
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| File | |
| Title ( jpn ) |
MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究
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| Creator | |
| Descriptions |
研究期間:平成11-12年度 ; 研究種目:基盤研究C2 ; 課題番号:11650326
原著には既発表論文の別刷を含む。
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| NDC |
Physics [ 420 ]
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| Language |
jpn
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| Resource Type | research report |
| Access Rights | open access |
| Date |
[Created] 2002-03
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