MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究
アクセス数 : 856 件
ダウンロード数 : 573 件
今月のアクセス数 : 5 件
今月のダウンロード数 : 3 件
この文献の参照には次のURLをご利用ください : https://ir.lib.hiroshima-u.ac.jp/00020368
| ファイル情報(添付) | |
| タイトル ( jpn ) |
MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究
|
| 作成者 | |
| 内容記述 |
研究期間:平成11-12年度 ; 研究種目:基盤研究C2 ; 課題番号:11650326
原著には既発表論文の別刷を含む。
|
| NDC分類 |
物理学 [ 420 ]
|
| 言語 |
日本語
|
| 資源タイプ | 研究報告書 |
| アクセス権 | オープンアクセス |
| 日付 |
[作成日] 2002-03
|
