MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究
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| ファイル情報(添付) | |
| タイトル ( jpn ) |
MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究
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| 作成者 | |
| 内容記述 |
研究期間:平成11-12年度 ; 研究種目:基盤研究C2 ; 課題番号:11650326
原著には既発表論文の別刷を含む。
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| NDC分類 |
物理学 [ 420 ]
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| 言語 |
日本語
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| 資源タイプ | 研究報告書 |
| アクセス権 | オープンアクセス |
| 日付 |
[作成日] 2002-03
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