Investigation on the Mechanism of Millisecond Solid Phase Crystallization of Silicon Films Formed by Micro-Thermal-Plasma-Jet and Their Application to Bottom-Gate Thin Film Transistors
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Title ( eng ) |
Investigation on the Mechanism of Millisecond Solid Phase Crystallization of Silicon Films Formed by Micro-Thermal-Plasma-Jet and Their Application to Bottom-Gate Thin Film Transistors
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Title ( jpn ) |
大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射によるシリコン薄膜のミリ秒結晶化メカニズムの解明とボトムゲート型薄膜トランジスタへの応用
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Creator |
Nguyen Hoa Thi Khanh
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Language |
eng
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Resource Type | doctoral thesis |
Publish Type | Not Applicable (or Unknown) |
Access Rights | open access |
Dissertation Number | 甲第8673号 |
Degree Name | |
Date of Granted | 2021-09-17 |
Degree Grantors |
広島大学
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