Investigation on the Mechanism of Millisecond Solid Phase Crystallization of Silicon Films Formed by Micro-Thermal-Plasma-Jet and Their Application to Bottom-Gate Thin Film Transistors

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File	k8673_2.pdf 152 KB 種類 : abstract
File	k8673_3.pdf 5.2 MB 種類 : fulltext
Title ( eng )	Investigation on the Mechanism of Millisecond Solid Phase Crystallization of Silicon Films Formed by Micro-Thermal-Plasma-Jet and Their Application to Bottom-Gate Thin Film Transistors
Title ( jpn )	大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射によるシリコン薄膜のミリ秒結晶化メカニズムの解明とボトムゲート型薄膜トランジスタへの応用
Creator	Nguyen Hoa Thi Khanh
Language	eng
Resource Type	doctoral thesis
Publish Type	Not Applicable (or Unknown)
Access Rights	open access
Dissertation Number	甲第8673号
Degree Name	Doctor of Engineering
Date of Granted	2021-09-17
Degree Grantors	広島大学