Low Specific Contact Resistance and High-Temperature Reliability of Ni/Nb Ohmic Contacts on 4H-SiC for Harsh Environment Applications
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タイトル ( eng ) |
Low Specific Contact Resistance and High-Temperature Reliability of Ni/Nb Ohmic Contacts on 4H-SiC for Harsh Environment Applications
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タイトル ( jpn ) |
極限環境応用のための4H-SiC半導体上の低抵抗・高信頼Ni/Nbオーミック接触形成
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作成者 |
Vuong Cuong Van
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内容記述 |
内容の要約
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言語 |
英語
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資源タイプ | 博士論文 |
アクセス権 | オープンアクセス |
学位授与番号 | 甲第8161号 |
学位名 | |
学位授与年月日 | 2020-03-23 |
学位授与機関 |
広島大学
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