Low Specific Contact Resistance and High-Temperature Reliability of Ni/Nb Ohmic Contacts on 4H-SiC for Harsh Environment Applications

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File	k8161_1.pdf 108 KB 種類 : abstract
File	k8161_2.pdf 209 KB 種類 : abstract
File	k8161_4.pdf 132 KB 種類 : summary
Title ( eng )	Low Specific Contact Resistance and High-Temperature Reliability of Ni/Nb Ohmic Contacts on 4H-SiC for Harsh Environment Applications
Title ( jpn )	極限環境応用のための4H-SiC半導体上の低抵抗・高信頼Ni/Nbオーミック接触形成
Creator	Vuong Cuong Van
Descriptions	内容の要約
Language	eng
Resource Type	doctoral thesis
Access Rights	open access
Dissertation Number	甲第8161号
Degree Name	Doctor of Science
Date of Granted	2020-03-23
Degree Grantors	広島大学