Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects

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k7665_1.pdf 228 KB 種類 : 抄録・要旨
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k7665_2.pdf 186 KB 種類 : 抄録・要旨
タイトル ( eng )
Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects
タイトル ( jpn )
ULSI配線のためのゼオライト含有ポーラスシリカ低誘電率膜の前駆体合成と膜形成
作成者
佐藤 旦
内容記述
内容の要旨, 審査の要旨
言語
英語
資源タイプ 博士論文
アクセス権 オープンアクセス
学位授与番号 甲第7665号
学位名
学位授与年月日 2018-09-07
学位授与機関
広島大学