Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects

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File
k7665_1.pdf 228 KB 種類 : abstract
File
k7665_2.pdf 186 KB 種類 : abstract
Title ( eng )
Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects
Title ( jpn )
ULSI配線のためのゼオライト含有ポーラスシリカ低誘電率膜の前駆体合成と膜形成
Creator
Sato Tadashi
Descriptions
内容の要旨, 審査の要旨
Language
eng
Resource Type doctoral thesis
Access Rights open access
Dissertation Number 甲第7665号
Degree Name
Date of Granted 2018-09-07
Degree Grantors
広島大学