Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects
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File |
k7665_1.pdf
228 KB
種類 :
abstract
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k7665_2.pdf
186 KB
種類 :
abstract
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Title ( eng ) |
Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects
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Title ( jpn ) |
ULSI配線のためのゼオライト含有ポーラスシリカ低誘電率膜の前駆体合成と膜形成
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Creator |
Sato Tadashi
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Descriptions |
内容の要旨, 審査の要旨
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Language |
eng
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Resource Type | doctoral thesis |
Access Rights | open access |
Dissertation Number | 甲第7665号 |
Degree Name | |
Date of Granted | 2018-09-07 |
Degree Grantors |
広島大学
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