Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects
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| ファイル情報(添付) | |
| ファイル情報(添付) | |
| タイトル ( eng ) |
Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects
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| タイトル ( jpn ) |
ULSI配線のためのゼオライト含有ポーラスシリカ低誘電率膜の前駆体合成と膜形成
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| 作成者 |
佐藤 旦
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| 内容記述 |
内容の要旨, 審査の要旨
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| 言語 |
英語
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| 資源タイプ | 博士論文 |
| アクセス権 | オープンアクセス |
| 学位授与番号 | 甲第7665号 |
| 学位名 | |
| 学位授与年月日 | 2018-09-07 |
| 学位授与機関 |
広島大学
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