Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects
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| File | |
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| Title ( eng ) |
Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects
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| Title ( jpn ) |
ULSI配線のためのゼオライト含有ポーラスシリカ低誘電率膜の前駆体合成と膜形成
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| Creator |
Sato Tadashi
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| Descriptions |
内容の要旨, 審査の要旨
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| Language |
eng
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| Resource Type | doctoral thesis |
| Access Rights | open access |
| Dissertation Number | 甲第7665号 |
| Degree Name | |
| Date of Granted | 2018-09-07 |
| Degree Grantors |
広島大学
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