Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects

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File	k7665_1.pdf 228 KB 種類 : abstract
File	k7665_2.pdf 186 KB 種類 : abstract
Title ( eng )	Precursor Synthesis and Film Formation of Mesoporous Pure Silica Zeolite Low-k Films for ULSI Interconnects
Title ( jpn )	ULSI配線のためのゼオライト含有ポーラスシリカ低誘電率膜の前駆体合成と膜形成
Creator	Sato Tadashi
Descriptions	内容の要旨, 審査の要旨
Language	eng
Resource Type	doctoral thesis
Access Rights	open access
Dissertation Number	甲第7665号
Degree Name	Doctor of Engineering
Date of Granted	2018-09-07
Degree Grantors	広島大学