蛍光X線ホログラフィー <解説>
放射光 11 巻 5 号
361-367 頁
1998-11-30 発行
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| ファイル情報(添付) | |
| タイトル ( jpn ) |
蛍光X線ホログラフィー <解説>
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| タイトル ( eng ) |
X-ray Fluorescence Holography
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| 作成者 |
林 好一
河合 潤
早川 慎二郎
後藤 後治
二瓶 好正
合志 陽一
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| 収録物名 |
放射光
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| 巻 | 11 |
| 号 | 5 |
| 開始ページ | 361 |
| 終了ページ | 367 |
| 抄録 |
The X-ray fluorescence holography makes it possible to obtain direct three-dimensional atomic images around atoms emitting fluorescent X-rays. We describe here the history and theory of the X-ray fluorescence holography and show our experimental results. Using synchrotron radiation, we succeeded to measure the hologram of dopant in semiconductor wafer for 9 hours.
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| NDC分類 |
化学 [ 430 ]
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| 言語 |
日本語
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| 資源タイプ | 学術雑誌論文 |
| 出版者 |
日本放射光学会
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| 発行日 | 1998-11-30 |
| 権利情報 |
Copyright (c) 1998 The Japanese Society for Synchrotron Radiation Research
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| 出版タイプ | Version of Record（出版社版。早期公開を含む） |
| アクセス権 | オープンアクセス |
| 収録物識別子 |
[ISSN] 0914-9287
[NCID] AN10075706
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