GaAs及びSi上への絶縁膜の形成
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ファイル情報(添付) |
diss_ko419.pdf
9.65 MB
種類 :
全文
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タイトル ( jpn ) |
GaAs及びSi上への絶縁膜の形成
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作成者 | |
NDC分類 |
電気工学 [ 540 ]
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言語 |
日本語
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資源タイプ | 博士論文 |
権利情報 |
Copyright(c) by Author
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アクセス権 | オープンアクセス |
学位授与番号 | 甲第419号 |
学位名 | |
学位授与年月日 | 1981-03-25 |
学位授与機関 |
広島大学
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