電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積

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ファイル情報(添付)
17360166.pdf 2.44 MB 種類 : 全文
タイトル ( jpn )
電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積
作成者
著者キーワード
光スイッチ
電気光学効果
リング共振器
モノリシック集積
低温形成
光強度変調
(Ba, St)TiO_3
スパッタ
内容記述
研究期間:平成17-19年度 ; 研究種目: 基盤研究B ; 課題番号:17360166
原著には既発表論文の別刷を含む。
NDC分類
電気工学 [ 540 ]
言語
日本語
資源タイプ 研究報告書
アクセス権 オープンアクセス
日付
[作成日] 2008-05
収録物識別子
[NCID] BA8757424X