電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積
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ファイル情報(添付) |
17360166.pdf
2.44 MB
種類 :
全文
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タイトル ( jpn ) |
電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積
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作成者 | |
著者キーワード |
光スイッチ
電気光学効果
リング共振器
モノリシック集積
低温形成
光強度変調
(Ba, St)TiO_3
スパッタ
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内容記述 |
研究期間:平成17-19年度 ; 研究種目: 基盤研究B ; 課題番号:17360166
原著には既発表論文の別刷を含む。
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NDC分類 |
電気工学 [ 540 ]
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言語 |
日本語
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資源タイプ | 研究報告書 |
アクセス権 | オープンアクセス |
日付 |
[作成日] 2008-05
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収録物識別子 |
[NCID] BA8757424X
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