Low Specific Contact Resistance and High-Temperature Reliability of Ni/Nb Ohmic Contacts on 4H-SiC for Harsh Environment Applications

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タイトル ( eng )
Low Specific Contact Resistance and High-Temperature Reliability of Ni/Nb Ohmic Contacts on 4H-SiC for Harsh Environment Applications
タイトル ( jpn )
極限環境応用のための4H-SiC半導体上の低抵抗・高信頼Ni/Nbオーミック接触形成
作成者
Vuong Cuong Van
内容記述
内容の要約
言語
英語
資源タイプ 博士論文
アクセス権 オープンアクセス
学位授与番号 甲第8161号
学位名
学位授与年月日 2020-03-23
学位授与機関
広島大学