Transfer of Silicon Layer with Midair Cavity and Its Application to MOSFETs Fabrication
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| ファイル情報(添付) | |
| ファイル情報(添付) | |
| タイトル ( eng ) |
Transfer of Silicon Layer with Midair Cavity and Its Application to MOSFETs Fabrication
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| タイトル ( jpn ) |
中空構造シリコン層の転写およびMOSFET作製への応用
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| 作成者 |
酒池 耕平
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| 内容記述 |
内容の要旨 , 審査の要旨
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| NDC分類 |
電気工学 [ 540 ]
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| 言語 |
英語
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| 資源タイプ | 博士論文 |
| アクセス権 | オープンアクセス |
| 学位授与番号 | 甲第6370号 |
| 学位名 | |
| 学位授与年月日 | 2014-03-23 |
| 学位授与機関 |
広島大学
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