Tunneling Acoustic Microscope
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| ファイル情報(添付) | |
| タイトル ( eng ) |
Tunneling Acoustic Microscope
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| タイトル ( jpn ) |
トンネル音響顕微鏡
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| 作成者 |
高田 啓二
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| 抄録 |
This paper describes a new type of acoustic microscope based upon a scanning tunneling microscope (STM). This is an STM with an acoustic sensor that obtains physical information from an acoustic wave as well as the tunneling current. Interactions capable of generating strains in the STM sample are detectable and are used to image sample properties. This enhances STM's capabilities without reducing its ability, and enables imaging of nonconducting materials and imaging of dielectric and piezoelectric properties.
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| 内容記述 |
Abstract / p2
Contents / p3 1.Introduction / p4 2.Principle / p7 2.1 Surface Force / p9 2.2 Electrostatic Force / p10 2.3 Piezoelectric Effect / p12 3.Instrumentation / p14 3.1 Configuration / p14 3.2 Ultrasonic Motor for Tip Approach System / p16 3.3 Charge Control / p18 4.Experimental Results and Discussion / p20 4.1 Surface Force Detection / p20 4.2 Electrostatic Force Detection / p21 4.3 Surface Contour / p22 4.4 Defects Induced by Thermal Oxidation / p22 4.5 Ion-Implanted Silicon / p25 4.6 Contact Hole / p31 4.7 Piezoelectric Thin Film / p34 5.Conclusion / p40 Acknowledgements / p41 |
| NDC分類 |
電気工学 [ 540 ]
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| 言語 |
英語
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| 資源タイプ | 博士論文 |
| 権利情報 |
Copyright(c) by Author
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| 出版タイプ | Not Applicable (or Unknown)（適用外。または不明） |
| アクセス権 | オープンアクセス |
| 収録物識別子 |
[1] Tunneling acoustic microscope. K. Takata, T. Hasegawa, S. Hosaka, S. Hosoki, and T. Komoda. Applied Physics Letters, Vol. 55, No. 17 (1989) pp. 1718-1720.
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[2] Tunneling Acoustic Microscope. K. Takata, J. Yugami, T. Hasegawa, S. Hosaka, S. Hosoki, and T. Komoda. Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 28, No. 12 (1989) pp. L2279-L2280.
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[3] Electrostatic Force Imaging by Tunneling Acoustic Microscopy. K. Takata, T. Okawa, and M. Horiuchi. Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 30, No. 2B (1991) pp. L309-L312.
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[4] Observation of deep contact holes and conductive components underlying insulator in a memory cell by tunneling acoustic microscopy. K. Takata, T. Kure, and T. Okawa. Applied Physics Letters, Vol. 60, No. 4 (1992) pp. 515-517.
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[5] Strain Imaging of Lead-Zirconate-Titanate Thin Film by Tunneling Acoustic Microscopy. K. Takata, K. Kushida, K. Torii, and H. Miki. Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 33, No. 5B (1994) pp. 3193-3196.
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[DOI] http://dx.doi.org/10.1063/1.102199
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[DOI] http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.28.L2279
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[DOI] http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.30.L309
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[DOI] http://dx.doi.org/10.1063/1.106594
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[DOI] http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.33.3193
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| 学位授与番号 | 乙第2604号 |
| 学位名 | |
| 学位授与年月日 | 1994-09-22 |
| 学位授与機関 |
広島大学
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