(100) Oriented Poly-Si Thin Film Formation and Ultrahigh-Performance Poly-Si Thin Film Transistors Fabrication with Multi-Line Beam Continuous-Wave Laser Lateral Crystallization

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File	k7543_3.pdf 3.59 MB 種類 : fulltext
Title ( eng )	(100) Oriented Poly-Si Thin Film Formation and Ultrahigh-Performance Poly-Si Thin Film Transistors Fabrication with Multi-Line Beam Continuous-Wave Laser Lateral Crystallization
Title ( jpn )	マルチライン連続発振レーザ・ラテラル結晶化による(100)面方位制御多結晶シリコン薄膜形成と高性能多結晶シリコン薄膜トランジスタの作製
Creator	Nguyen Thi Thuy
Language	eng
Resource Type	doctoral thesis
Publish Type	Not Applicable (or Unknown)
Access Rights	open access
Dissertation Number	甲第7543号
Degree Name	Doctor of Science
Date of Granted	2018-03-23
Degree Grantors	広島大学