Transfer of Silicon Layer with Midair Cavity and Its Application to MOSFETs Fabrication
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| File | |
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| Title ( eng ) |
Transfer of Silicon Layer with Midair Cavity and Its Application to MOSFETs Fabrication
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| Title ( jpn ) |
中空構造シリコン層の転写およびMOSFET作製への応用
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| Creator |
Sakaike Kouhei
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| Descriptions |
内容の要旨 , 審査の要旨
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| NDC |
Electrical engineering [ 540 ]
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| Language |
eng
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| Resource Type | doctoral thesis |
| Access Rights | open access |
| Dissertation Number | 甲第6370号 |
| Degree Name | |
| Date of Granted | 2014-03-23 |
| Degree Grantors |
広島大学
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