電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積

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File
17360166.pdf 2.44 MB 種類 : fulltext
Title ( jpn )
電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積
Creator
Keywords
光スイッチ
電気光学効果
リング共振器
モノリシック集積
低温形成
光強度変調
(Ba, St)TiO_3
スパッタ
Descriptions
研究期間:平成17-19年度 ; 研究種目: 基盤研究B ; 課題番号:17360166
原著には既発表論文の別刷を含む。
NDC
Electrical engineering [ 540 ]
Language
jpn
Resource Type research report
Access Rights open access
Date
[Created] 2008-05
Source Identifier
[NCID] BA8757424X