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ID 46126
本文ファイル
Thumnail k7543_1.pdf 109 KB
Thumnail k7543_2.pdf 179 KB
Thumnail k7543_3.pdf 3.59 MB
別タイトル
マルチライン連続発振レーザ・ラテラル結晶化による(100)面方位制御多結晶シリコン薄膜形成と高性能多結晶シリコン薄膜トランジスタの作製
著者
Nguyen Thi Thuy
言語
英語
NII資源タイプ
学位論文
広大資料タイプ
学位論文
DCMIタイプ
text
フォーマット
application/pdf
著者版フラグ
ETD
学位記番号
甲第7543号
授与大学
広島大学(Hiroshima University)
学位名
博士(理学)
学位名の英名
Doctor of Science
学位の種類の英名
doctoral
学位授与年月日
2018-03-23
部局名
先端物質科学研究科