電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積
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| ID | 25311 |
| 本文ファイル | |
| 著者 | |
| キーワード | 光スイッチ
電気光学効果
リング共振器
モノリシック集積
低温形成
光強度変調
(Ba, St)TiO_3
スパッタ
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| NDC |
電気工学
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| 内容記述 | 研究期間:平成17-19年度 ; 研究種目: 基盤研究B ; 課題番号:17360166
原著には既発表論文の別刷を含む。
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| 作成年月日 | 2008-05
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| NCID | |
| 言語 |
日本語
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| NII資源タイプ |
研究報告書
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| 広大資料タイプ |
科研費報告書
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| DCMIタイプ | text
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| フォーマット | application/pdf
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| 部局名 |
ナノデバイス・システム研究センター
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