(100) Oriented Poly-Si Thin Film Formation and Ultrahigh-Performance Poly-Si Thin Film Transistors Fabrication with Multi-Line Beam Continuous-Wave Laser Lateral Crystallization
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| ID | 46126 |
| 本文ファイル | |
| 別タイトル | マルチライン連続発振レーザ・ラテラル結晶化による(100)面方位制御多結晶シリコン薄膜形成と高性能多結晶シリコン薄膜トランジスタの作製
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| 著者 |
Nguyen Thi Thuy
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| 言語 |
英語
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| NII資源タイプ |
学位論文
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| 広大資料タイプ |
学位論文
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| DCMIタイプ | text
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| フォーマット | application/pdf
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| 著者版フラグ | ETD
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| 学位記番号 | 甲第7543号
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| 授与大学 | 広島大学(Hiroshima University)
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| 学位名 | 博士(理学)
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| 学位名の英名 | Doctor of Science
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| 学位の種類の英名 | doctoral
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| 学位授与年月日 | 2018-03-23
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| 部局名 |
先端物質科学研究科
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