(100) Oriented Poly-Si Thin Film Formation and Ultrahigh-Performance Poly-Si Thin Film Transistors Fabrication with Multi-Line Beam Continuous-Wave Laser Lateral Crystallization
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| タイトル ( eng ) |
(100) Oriented Poly-Si Thin Film Formation and Ultrahigh-Performance Poly-Si Thin Film Transistors Fabrication with Multi-Line Beam Continuous-Wave Laser Lateral Crystallization
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| タイトル ( jpn ) |
マルチライン連続発振レーザ・ラテラル結晶化による(100)面方位制御多結晶シリコン薄膜形成と高性能多結晶シリコン薄膜トランジスタの作製
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| 作成者 |
Nguyen Thi Thuy
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| 言語 |
英語
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| 資源タイプ | 博士論文 |
| 出版タイプ | Not Applicable (or Unknown)（適用外。または不明） |
| アクセス権 | オープンアクセス |
| 学位授与番号 | 甲第7543号 |
| 学位名 | |
| 学位授与年月日 | 2018-03-23 |
| 学位授与機関 |
広島大学
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