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ID 40355
file
k6500_4.pdf 197 KB
k6500_1.pdf 199 KB
k6500_2.pdf 216 KB
title alternative
大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射によるアモルファスシリコン膜の結晶化及び薄膜トランジスタへの応用
creator
Hayashi, Shohei
NDC
Electrical engineering
description
内容の要約
language
eng
nii type
Thesis or Dissertation
HU type
Doctoral Theses
DCMI type
text
format
application/pdf
grantid
甲第6500号
degreeGrantor
広島大学(Hiroshima University)
degreename Ja
博士(工学)
degreename En
Doctor of Engineering
degreelevel
doctoral
date of granted
2014-09-25
department
Graduate School of Advanced Sciences of Matter