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ID 51851
file
k8673_1.pdf 131 KB
k8673_2.pdf 152 KB
k8673_3.pdf 5.2 MB
title alternative
大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射によるシリコン薄膜のミリ秒結晶化メカニズムの解明とボトムゲート型薄膜トランジスタへの応用
creator
Nguyen, Hoa Thi Khanh
language
eng
nii type
Thesis or Dissertation
HU type
Doctoral Theses
DCMI type
text
format
application/pdf
text version
ETD
grantid
甲第8673号
degreeGrantor
広島大学(Hiroshima University)
degreename Ja
博士(工学)
degreename En
Doctor of Engineering
degreelevel
doctoral
date of granted
2021-09-17
department
Graduate School of Advanced Sciences of Matter