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ID 40355
本文ファイル
Thumnail k6500_4.pdf 197 KB
Thumnail k6500_1.pdf 199 KB
Thumnail k6500_2.pdf 216 KB
別タイトル
大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射によるアモルファスシリコン膜の結晶化及び薄膜トランジスタへの応用
著者
林 将平
NDC
電気工学
内容記述
内容の要約
言語
英語
NII資源タイプ
学位論文
広大資料タイプ
学位論文
DCMIタイプ
text
フォーマット
application/pdf
学位記番号
甲第6500号
授与大学
広島大学(Hiroshima University)
学位名
博士(工学)
学位名の英名
Doctor of Engineering
学位の種類の英名
doctoral
学位授与年月日
2014-09-25
部局名
先端物質科学研究科