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ID 40202
本文ファイル
Thumnail k6825_3.pdf 10.3 MB
Thumnail k6825_1.pdf 817 KB
Thumnail k6825_2.pdf 213 KB
別タイトル
アモルファスシリコン細線への大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射による結晶成長制御とその高速CMOS回路作製への応用
著者
森﨑 誠司
NDC
電気工学
言語
英語
NII資源タイプ
学位論文
広大資料タイプ
学位論文
DCMIタイプ
text
フォーマット
application/pdf
著者版フラグ
ETD
学位記番号
甲第6825号
授与大学
広島大学(Hiroshima University)
学位名
博士(工学)
学位名の英名
Doctor of Engineering
学位の種類の英名
doctoral
学位授与年月日
2015-10-16
部局名
先端物質科学研究科