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ID 46938
本文ファイル
Thumnail k7665_1.pdf 228 KB
Thumnail k7665_2.pdf 186 KB
別タイトル
ULSI配線のためのゼオライト含有ポーラスシリカ低誘電率膜の前駆体合成と膜形成
著者
佐藤 旦
内容記述
内容の要旨, 審査の要旨
言語
英語
NII資源タイプ
学位論文
広大資料タイプ
学位論文
DCMIタイプ
text
フォーマット
application/pdf
著者版フラグ
ETD
学位記番号
甲第7665号
授与大学
広島大学(Hiroshima University)
学位名
博士(工学)
学位名の英名
Doctor of Engineering
学位の種類の英名
doctoral
学位授与年月日
2018-09-07
部局名
先端物質科学研究科