GaAs及びSi上への絶縁膜の形成

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ファイル情報(添付)
diss_ko419.pdf 9.65 MB 種類 : 全文
タイトル ( jpn )
GaAs及びSi上への絶縁膜の形成
作成者
NDC分類
電気工学 [ 540 ]
言語
日本語
資源タイプ 博士論文
権利情報
Copyright(c) by Author
アクセス権 オープンアクセス
学位授与番号 甲第419号
学位名
学位授与年月日 1981-03-25
学位授与機関
広島大学