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ID 46938
file
Thumnail k7665_1.pdf 228 KB
Thumnail k7665_2.pdf 186 KB
title alternative
ULSI配線のためのゼオライト含有ポーラスシリカ低誘電率膜の前駆体合成と膜形成
creator
Sato, Tadashi
description
内容の要旨, 審査の要旨
language
eng
nii type
Thesis or Dissertation
HU type
Doctoral Theses
DCMI type
text
format
application/pdf
text version
ETD
grantid
甲第7665号
degreeGrantor
広島大学(Hiroshima University)
degreename Ja
博士(工学)
degreename En
Doctor of Engineering
degreelevel
doctoral
date of granted
2018-09-07
department
Graduate School of Advanced Sciences of Matter